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Alpha-Step D-500台阶仪支持台阶高度、粗糙度、翘曲度和应力的2D测量。 新的光学杠杆传感器技术提供高分辨率测量,大垂直范围和低触力测量功能。 探针测量技术的一个优点是它是一种直接测量,与材料特性无关。
Alpha-Step D-600台阶仪探针式轮廓仪能够测量从几纳米到1200微米的2D和3D台阶高度。 D-600还可以在研发和生产环境中支持粗糙度、翘曲度和应力的2D和3D测量。 D-600包括一个电动200毫米样品卡盘和光学系统以及加强视频控制。
P-17台阶仪是台式探针轮廓仪,是多年的表面量测经验的结晶。支持对台阶高度、粗糙度、翘曲度和应力进行2D和3D测量,其扫描可达200mm而无需图像拼接。
台阶仪是cassette-to-cassette探针式轮廓仪,可提供几纳米至一毫米的台阶高度测量功能,适用于生产环境。该系统可以对台阶高度、粗糙度、翘曲度和应力进行2D和3D测量,其扫描可达200mm而无需图像拼接。
KLA探针式台阶仪P-7:P-7支持从几纳米到一毫米的台阶高度测量,适用于生产和研发环境。该系统可以对台阶高度、粗糙度、翘曲度和应力进行2D和3D测量,其扫描可达150mm而无需图像拼接。
眼镜蛇(快响)测速探针针对风工程、能源动力、汽车、航空、暖通空调等领域科研人员设计,具有测量范围广,高精度,速度方向测量,高频响等特点。
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