台阶仪

P-170是cassette-to-cassette探针式轮廓仪，可提供几纳米至一毫米的台阶高度测量功能，适用于生产环境。该系统可以对台阶高度、粗糙度、翘曲度和应力进行2D和3D测量，其扫描可达200mm而无需图像拼接。 P-170的图案识别算法、增强的光学系统和先进的平台，这保证了性能的稳定和系统间配方的无缝移植- 这是24x7生产环境的关键要求。

产品描述

 P-170台阶仪是cassette-to-cassette探针式轮廓仪，将P-17台式系统的测量性能和经过生产验证的HRP-260的机械传送臂相结合。 这样的组合为机械传送臂系统适用于半导体，化合物半导体和相关行业。 P-170可以对台阶高度、粗糙度、翘曲度和应力进行2D和3D测量，其扫描可达200mm而无需图像拼接。

   该系统结合了UltraLite传感器、恒力控制和超平扫描平台，因而具备出色的测量稳定性。通过点击式平台控制、顶视和侧视光学系统以及带光学变焦的分辨率相机等功能，程序设置简便快速。P-170具备用于量化表面形貌的各种滤镜、调平和分析算法，可以支持2D或3D测量。并通过图案识别、排序和特征检测实现全自动测量。

台阶仪主要功能

•      台阶高度：几纳米至1000μm

•      微力恒力控制：0.03至50mg

•      样品全直径扫描，无需图像拼接

•      视频：500万像素分辨率彩色摄像机

•      圆弧校正：消除由于探针的弧形运动引起的误差

•      软件：简单易用的软件界面

•      生产能力：通过测序、图案识别和SECS/GEM实现全自动化

•      晶圆机械传送臂：自动加载75mm至200mm不透明（例如硅）和透明（例如蓝宝石）样品

主要应用

•      台阶高度：2D和3D台阶高度

•      纹理：2D和3D粗糙度和波纹度

•      形状：2D和3D翘曲和形状

•      应力：2D和3D薄膜应力

•      缺陷复检：2D和3D缺陷表面形貌

工业应用

•      半导体

•      化合物半导体

•      LED：发光二极管

•      MEMS：微机电系统

•      数据存储

•      汽车

•      还有更多：请与我们联系以满足您的要求