电阻率测量仪是KLA薄膜电阻和导电率测绘系统。从半导体制造到实现可穿戴技术所需的柔性电子产品，薄膜电阻监控对于任何使用导电薄膜的行业都比较重要。

薄膜厚度测量仪薄膜特性：厚度、反射率、透射率、光学常数、均匀性、刻蚀量等；薄膜种类：透明及半透明薄膜，常见如氧化物、聚合物甚至空气。

微米级横向定位精度自动化薄膜厚度测绘系统集成了先进的光学、电子和机械模块，可兼用于对无图形和图形薄膜（例如微图形表面、粗糙表面）进行精确测量 ）。

精簡薄膜厚度测量特性分析系统：FR-ES 機型設計在以较小的占地面积提供涂层表征性能。它广泛应用于各种不同的测量应用：薄膜厚度、折射率、颜色、透射率、反射率等等。

环境空气挥发性有机物在线监测系统用于各类挥发性有机物的在线监测。产品配置氢火焰离子化检测器 FID和质谱检测器 MSD等不同类型检测器，适应不同领域的应用需求。

扬尘在线监测系统主要是通过β射线检测法，不间断地测量环境空气中总悬浮颗粒物PM100的浓度。