薄膜厚度测量仪以真空镀膜为设计目标，F10-RT 只要单击鼠标即可获得反射和透射光谱。 只需简单操作。用户就能进行 FWHM 并进行颜色分析。

AVI-600系列 主动式防震系统为紧凑型的主动隔振系统，是纳米技术大型仪器隔振的解决方案。对升级和整合到现有的需要低频隔振功能的设备来说是不错的选择。

F3-sX薄膜厚度测量仪利用光谱反射原理，可以测试众多半导体及电解层的厚度，可测厚度达3毫米。此类厚膜，相较于较薄膜层表面较粗糙且不均匀，F3-sX系列配置10微米的测试光斑直径因而可以快速容易的测量其他膜厚测试仪器不能测量的材料膜层。而且能在几分之一秒内完成。

F54-XYT-300薄膜厚度测量仪具有集成的显微镜和实时摄像头，可以精确监控膜厚测量点。小尺寸的测量光斑允许测量有图案的样品，并且可以改良在较粗糙的材料上的测量性能。

F54-XY-200薄膜厚度测量仪：借助F54-XY-200光谱反射系统，可以轻松地测量尺寸达200 x 200mm样品的薄膜厚度电动XY工作台自动移动到选定的测量点并提供厚度测量，达到每秒两点。您可以从数十种预定义的极性，矩形或线性测量坐标图案中选择，也可以创建自己编辑的测量点数量。

HS华山系列被动式减震台采用：半膜片式空气弹簧、整体焊接支架、铁磁不锈钢台面（同OTP台面）的气浮隔振光学平台，整体高度800mm，分为气浮式支架和台面两部分。